电子探针数据处理对什么不起作用

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2015-08-06 17:17 标签： 电子探针实验报告
电子探针分析_百度文库
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电子探针分析
电​子​探​针​的​介​绍​和​分​析
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电子探针的基本原理及应用
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你可能喜欢SEM和电子探针使用特征的问题_百度知道
SEM和电子探针使用特征的问题
想了解下在材料研究与测试中SEM和电子探针的使用特征。能用比较通俗的个人语言说明的最好，谢谢。
提问者采纳
就是用高速的电子打击标本 捕获打回来的电子
然后电脑分析
得到的图象就是物体表面的照片
和普通黑白照片没区别 只不过是很小很小的物体 在纳米级别上的迷你照片~电子探针就不一样了 全名为电子探针X射线显微分析仪 又名微区X射线谱分析仪
听着听深奥 实际上就是把高速的电子打在物体上 这点和SEM一样
但是它捕获的不是电子
它要的是物体受到电子攻击产生的X线``（如果你大学物理学的好没挂科的话你应该记得一个叫做特征X线
它要的就是这个玩意）
因为这个X线含有标本的化学成分信息``所以它长用来分析物体里有什么
这样我们就知道标本里面有多少氢多少氧等等`总结就是：都把高速的电子打到了标本上
SEM捕获了反弹回来的电子 从而知道了物体表面长什么样子
电子探针捕获了物体激发出来的X光
从而知道了物体里面有什么成分
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出门在外也不愁我想咨询一下大虾们：1、矿石光片和探针片有区别么，还是通用啊，不同的电子探针型号对样品的尺寸要求为多大呢？2、岩石薄片和探针片有什么区别呢，尺寸是固定的么？希望及时得到大虾们的回答，非常感谢！
仪器采购指南：&&&&
&&回复于： 21:59:14
有没有人知道呢，
&&回复于： 14:55:41
原文由 smartmoon 发表:我想咨询一下大虾们：1、矿石光片和探针片有区别么，还是通用啊，不同的电子探针型号对样品的尺寸要求为多大呢？2、岩石薄片和探针片有什么区别呢，尺寸是固定的么？希望及时得到大虾们的回答，非常感谢！应该是通用的都是粘在载玻片上的一般先在偏光显微镜上标出感兴趣的区域，然后再用探针定量但是探针用的必须喷碳&& 查看话题
电子探针显微分析方法.PPT
EPMA（Electron Probe MicroAnalysis），是电子探针显微分析技术，利用聚焦电子束与试样微米至亚微米尺度的区域相互作用，用X射线谱仪对电子激发体积内的元素进行分析的技术。
电子探针仪：EPMA(Electron Probe MicroAnalyzer) (electron probe)
一种电子束显微分析的仪器，是通过电子束激发试样微区产生的二次电子、背散射电子、及X射线等信息，进行试样表面形貌观察及成分分析。成分分析主要用波谱仪（WDS)，也可以用能谱仪（EDS)。其配置应包括一个能将电子束聚焦成微米、亚微米尺度的电子光学系统（镜筒）。一台对试样位置进行观测和精密定位的光学显微镜和一套波谱仪， 也可以附加一套能谱仪。其电子光学系统应包括电子束扫描系统以及一个或多个电子探测器，以便具有扫描电镜的成像功能。
EPMA、SEM区别
EPMA：用于成分分析、形貌观察，以成分分析为主。主要用WDS进行元素成分分析、检出角大、附有光学显微镜（OM），可以准确定位工作距离(物镜极靴下表面与试样表面之间的距离)、束流大、稳定（10-3/h)，所以定量结果准确度高,检测极限低。
缺点：真空腔体大，成分分析束流大，所以电子光路、光阑等易污染，图像质量不如SEM，EPMA二次电子像分辨率为3nm(场发射）、5nm(LaB6)、6nm（W灯丝）。
SEM：用于形貌观察、成分分析（一般用EDS分析），以形貌观察为主,束流稳定度为10-2/h左右，大量数据测量时稳定时间不能满足要求。图像分辨率高，FESEM:0.4~1nm；W灯丝SEM：3nm
EPMA比SEM价格贵几倍。
EPMA/SEM-EDS的特点
EPMA、SEM-EDS是应用最广泛的仪器，EDS几乎成了EPMA、SEM的标配。现在许多SEM还配备了WDS。 EPMA、SEM-EDS的仪器构造、成像原理、分析原理、 WDS及EDS定量修正过程都相同，虽然功能、特点不完全相同。
EPMA成分分析时电流大；检出角大；有能精确定位分析点的OM；WDS的波长分辨率及检测极限均优于EDS。现在成分定量分析要求较高的材料科学、冶金、地质等领域一般都配备了EPMA。意大利警方配备WDS前，分析结果经常被黑手党的WDS分析结果推翻，现在意大利警方都同时配备了EDS和WDS。
即使现在SEM配备了WDS ，成分定量分析结果一般也不如EPMA, SEM-EDS
下面是几个介绍EPMA分析方法的入门教程，与大家共享。
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