罗茨锃光罗茨滑阀真空机组组主要用在哪些地方

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2015-08-30 01:25 标签： 罗茨螺杆真空机组
使用罗茨水环真空机组需注意的误区
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更新时间：15/08/22 14:03:08&&
　　在使用罗茨水环真空机组时，很多人会存在一些使用误区，为了解决这一现象，现给大家介绍一下，希望对您有所帮助：
　　1、罗茨水环真空机组使用必须配备前级泵，罗茨泵不可以单独使用。
　　2、在选择罗茨水环真空机组的时候需要注意的是罗茨泵的易损件密封方式是哪一种，机械密封的方式，可以有效的提高罗茨泵的工作效率，如果罗茨泵的密封方式选择轴套密封的话工作效率则会大大降低，在选择罗茨泵的时候需要特别注意。
　　3、罗茨泵多用在罗茨水环真空机组中，它的作用是提高抽速和前级泵的真空度。罗茨泵在与前级泵连接的中配需配备旁通阀，这样可以有效的保护罗茨泵，如果前级泵的抽气不稳定或者其他因素导致整个机组的工作不正常带有旁通阀的罗茨泵此时会起到保护罗茨泵的作用，从而延长整个真空机组的寿命。
　　同时，罗茨水环真空机组在使用过程中如果导致真空度降低，此时需要检查不可缺少的一点是罗茨泵转子之间的间隙是否有所变化，如果罗茨泵的转子间隙变大，则需要更换罗茨泵，因为此类罗茨泵在生产加工过程中没有对罗茨泵转子做静动平衡，或者是采用轴套密封的。
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罗茨真空泵和干式真空泵，罗茨干式真空泵的区别在哪？
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罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形l罗茨转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵。干式真空泵在工作时不需要油、水或者其他液体做介质，可以在“干”的状态下，直接抽取真空
的。可以获得清洁的真空。罗茨干式真空泵是一种罗茨结构的干式真空泵。普通罗茨真空泵是不能直接使用，只能作为提高真空度和抽气量的辅助泵。罗茨干式真空泵一般是多级泵，相当于把多个泵串联到一起。可以直接抽真空。而且不需要工作液，无油无水。所以称作罗茨干式真空泵。
那么对有腐蚀性的可以使用么？
要是抽取的气体有腐蚀性，需要对真空泵进行表面处理，一般就是镍合金涂层或者四氟涂层。
首先搞清楚几点：1、干式真空泵其实就是无油螺杆真空泵，2、罗茨干式真空泵就是罗茨螺杆真空机组，是由罗茨泵和螺杆泵组合而成，抽取高真空时会用的比较多。共同点：首先他们都是机械泵，都是用来抽真空的不通点：1罗茨泵不能单独使用，必须配合液环泵或螺杆泵才能使用，而螺杆泵可以配合一些设备单独用。2、罗茨泵工作时需要工作油，螺杆泵是无油的，3、螺杆泵相对来说抽的真空精度更高。安徽富通真空就是生产真空泵的厂家，可以去咨询一下，算是较大的品牌了
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罗茨泵在清洁或腐蚀性工艺中的应用
(中国真空镀膜网)
发布时间: 14:21:58
罗茨泵在清洁或腐蚀性工艺中的应用：在半导体、LCD、光伏太阳能电池以及某些工况条件非常苛刻的化工行业，大都是采用罗茨泵与干式真空泵所组成的真空机组，一方面可以减少干泵尺寸，提高真空机组在中真空范围的抽速，另外真空系统的极限真空值亦可以提高一个数量级。
根据罗茨泵的抽气机制，由于它既不需要润滑亦不需要密封介质，从原则上来说应该是无油的。但是罗茨泵的转子必须由轴承来支撑和精密的同步齿轮来传动。这些轴承和齿轮均需要有润滑系统。另外当真空系统抽除腐蚀性气体或蒸汽时，润滑油亦会受到侵蚀。
1．英国Edwards公司的轴封结构
英国Edwards的罗茨泵采用了图1所示的轴封装置，在这里主要为了防止油箱内的油进入到泵腔而采取了一系列阻挡措施。
①滚珠轴承是用一个整体的弹性密封(l)来封住。
②一个大直径的甩油环(2)将到达它外表面的油离心分离掉，并返回到油箱。
③一个螺旋的迷宫密封(3)将到达它表面的油排出，并进入油箱。
④甩油环内表面(4)再将油分离，并返回到螺旋的迷宫密封。
⑤聚四氟乙烯的无油干式轴封(5)。
图1中的(7)是毡圈用以阻挡在泵腔内可能出现的灰尘和颗粒。
图1 轴封和滚珠轴承装配的断面图
为了降低轴承密封系统两端的压差，通常是将油箱抽成真空。当油箱通过内部通道与罗茨泵出口相连，即由前级泵对油箱进行抽空，这时油箱内的压力略高于泵腔压，力的平均值，这种连接方法是适合于罗茨泵长期工作在较低的工作压力或极限压力的条件下，以获得无油清洁的真空。但是轴封系统一旦失效，由于气体的泄漏是从油箱到泵腔，所以油箱内的油蒸汽会对真空系统造成一定污染。但是工艺气体不会通过轴封而进入油箱，而造成对油的侵蚀。当油箱通过内部通道与罗茨泵入口相连，这时油箱内的压力低于泵腔压力的平均值，这种连接方法是适合于罗茨泵工作在较高的工作压力或压力经常变化的条件下，以获得无油清洁的真空。即使轴封系统一旦失效，由于气体的泄漏是从泵腔到油箱，所以油箱内的油蒸汽绝对不会返回到泵腔，但是工艺气体则会通过轴封系统进入油箱而造成对油的侵蚀。
2．德国Leybold公司的防止返油的措施（见图2）
为了防止油箱内的油蒸汽通过活塞环密封装置而渗入到泵腔。油箱是由另外一台辅助真空泵来进行抽空，其油箱内的压力始终是低于罗茨泵泵腔内的压力，其少量的气流是通过活塞环密封装置从泵腔进入到油箱，阻止了油箱内的油蒸汽通过活塞环密封装置返流到泵腔。而油箱内的气体以及少量的油蒸汽在被辅助真空泵抽走以前都要经过端盖上的一个水冷的油分离器，油被冷凝后再返回到油箱，因而大大降低了油箱内油的消耗。但是这种装置是避免齐了工艺气体通过活塞环密封而进入油箱，造成对油的污染。
图2 罗茨泵的断面图
1.辅助泵抽气管；2.油分离器；3．齿轮；4．轴承；5.活塞环；6.转子；
7.屏蔽外壳；8.风扇；9.驱动器；10.回油管
3．美国Kinney罗茨泵的轴封装置（见图3）
为了彻底解决油箱内的油蒸汽和泵腔之间的交叉污染问题，即既要防止油箱内的油蒸汽通过轴封返流到泵腔而造成对系统的污染，又要阻止工艺气体通过轴封而进入油箱，造成对油的侵蚀。美国Kinney的M/S系列罗茨泵则全部采用机械密封，即除了电机输入端采用图3左下端所示的机械密封(54)外，其余4个机械密封(54)都用来作为泵腔与油箱之间的密封。为了降低机械密封两端的压差，油箱亦由前级泵抽成真空。这种全部是机械密封的罗茨泵特别适合于工艺气体腐蚀性很强的应用场合，为了防腐蚀，这种罗茨泵的内部凡是接触工艺气体的表面都要经过涂层处理，一般是镀Ni，厚度为0.015～0.02 mm，所有密封圈材料为Kalrez全氟橡胶。
图3 美国Kinney的全部机械密封的罗茨泵（M/S系列）
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