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当当读书客户端万本电子书免费读制第25卷第1期(总94期)　　　　　　　　　　　
　　冷　　　　　　　　　　　　　　　　　63
　文章编号:ISSN06)01-0063-04Ξ
100级大面积电子厂房净化空调设计
(格林也科技(无锡)有限公司,江苏214028)
随着微电子技术的发展,相应的高洁净度厂房工程也不断增多。,
本文介绍了为某著名电脑主板企业设计的大面积100,并且注重介绍干冷盘管在高洁净度厂房中的运用,,,。
洁净度,换气次数,,,T;B
[中图分类号]
Designof-forlargeCleanlinessClass100ElectronicalWorkshop
HUShizhong
(Greenairetechnology(Wuxi)Co1,Ltd,Jiangshu214028)
Abstract:Withthedevelopmentofmicro-electronics,theprojectofhighcleanlinessworkshopincreasinglygrowsup,thetechnicalrequirementisaccordinglyontherise1Herebyintroducestheconcerningdescriptionforlargecleanlinessclass100cleanworkshop,designedforarenownedcomputermainboardcorporation1Furthermore,emphaticallyintroducesDCUfunctionappliedinhighcleanlinessworkshop,thesystemworksnormallyduringthepastyear,conformingwiththecriteri2onandcraftsrequirement1
Keywords:Cleanliness,Airexchangerate,Drycoilunit,Secondarywatercirculation,Cleanroomtest
　　本工程位于苏州某工业园内,厂房共有二层,每层建筑面积约36500m2。洁净厂房分阶段完成,共分4期完成。本次工程为第二期,100级洁净厂房约为2680m
2,千级面积约为580m2,普通区域(testarea)面积为5000m2(厂房平面图略)。
2　设计主要参数
设计主要参数见表1。
3　洁净空调系统设计
311　洁净冷负荷计算
夏季冷负荷包括:维护结构冷负荷、人员冷负
荷、照明冷负荷、生产设备冷负荷、新风冷负荷、风管冷损、空调机组风机负荷等。经计算:100级区域冷负荷指标为880W/m2,1000级冷负荷指标:480W/m2。普通区域(testarea)冷负荷指标:600W/m2(普通区域放置测试设备,发热量较大)。312　100级、1000级洁净房的空调方式
洁净房采用FHU+DCU+FFU的空调方式,洁净房空调及气流组织形式见图1。
其中,FHU为新风机组(Freshairhandingu2nit),另外,新风机组对新风采取了初、中、高效过滤处理。新风机组包括:初效段,表冷段,中效段,加热段(厂家有热水系统,采用热盘管),加湿段(厂家有蒸气),高效段。其中,空气清洗段厂家先要求预留,以后再增加。
Ξ收稿日期:　　　作者简介:胡世忠(1971-),男,工程师,主要从事中央空调工程设计。E-mail:hszong@sina1com
REFRIGERATION6　　　　　　　　　　　　4
No.1,2006,Mar.
　　　　　　　　　　　Vol.25(TotalNo.94
表1　设计主要参数
changroomlineonelinetwolinethree
)温度(℃21±121±121±121±1
55±5%55±5%55±5%55±5%
换气次数(次/h)
图1　洁净房气流组织图
　　新风机组担负洁净房的湿度控制,保持洁净房
的正压和人员新风需求。该工程新风量取35000m3/h;
DCU为干表冷盘管(Drycoilunit),在每一个洁净房内的回风夹墙中,都设置了干冷盘管。干冷盘管的主要作用是对洁净房进行等湿降温,所以,通过干盘管的冷冻水的温度稍大于洁净房的露点温度,保证洁净房空气通过干冷盘管时不结露;
FFU为带风机的高效过滤器(Fanfilterunit),FFU将洁净房内的通过干冷盘管冷却的回风,再与新风机组处理的新风混合后,通过FFU中的高效过滤器送到洁净房中。该洁净房地面采用1m高的导电高架地板,实现顶送底回的送风形式,进一步保证气流的垂直度的层流送风形式。
该空调的方式其特点是:洁净房的湿度采用集中控制的形式,控制简单,便于控制管理。其次,采用干冷盘管的冷却方式,节约空调机房的面积,特别适合大面积大冷负荷而空调机房面积较为紧张的洁净房场所。同时,多组干冷盘管的形式有利室内温度控制,尤其当室内各负荷不均匀时,更加有利。另外,在技术夹层,也不会有冷凝水产生,不易藏污、滋生细菌等。
但是,由于干冷盘管中所流动的冷冻水温要求高于洁净房的露点温度,所以水温偏高,降低了盘管的传热系数,及要求增加表冷盘管的传热面积,增加了初次投资成本。又因为,要求流入干冷盘管的冷冻水温要高于洁净房的露点温度,而冷冻站提供的供水温度为7℃,回水温度12℃。所以必须采
2006年3月制第25卷第1期(总94期)　　　　　　　　　　　　　冷　　　　　　　　　　　　　　　　　65
风混合,通过FFU送到洁净房内。1K更衣间的空气处理方式相同。夏季空气处理过程见图2。用二次水循环的形式。该循环水系统形式有两种:(1)采用三通阀混合的形式;(2)采用热交换器的
形式。在分析两种循环的形式特点后,最终采用了热交换器的形式,进一步的确保系统稳定可靠。当然,增加热交换器设备,投资增大。但是,相对该类工程来说,大面积高洁净度的洁净房,如果采用空气处理机组的形式,该系统风管系统所占用的空间、费用较大,同时,还要占用很大的空调机房面积。在综合考虑对比后,采用干表冷盘管的系统还是经济的,合理的。
313　空气处理洁净房的空气处理:
表冷盘管冷却,FFU送到洁净房内。
新风机组空气处理:新风经过初效过滤后进入冷盘管,冷盘管将新风处理到洁净房露点温度后
,进入中效过滤器和加热盘管段,然后进入空气清洗段(该段暂时没有装入),进入二次加热盘管段和加湿段,保证洁净房空气湿度恒定在设计要求范围内。最后由风机将处理的新风送到高效送风段,然后送到洁净房天花顶上的静压箱中,和洁净房的回图2　空气处理过程在i-d图上的表示4　空调主机及冷冻水系统本工程为2期工程,主机在第一期已经全部到位,采用1000RT开利离心机组共4台,冷冻水管已全部通到所需的位置,并已经预留接管。本工程testarea及新风机组直接采用主冷冻水管的冷冻水,供回水温度7℃/12℃;但洁净房中的干盘管的冷冻水,必须保证冷冻水供回水温度13℃/17℃;设
图3　二次冷冻水循环系统原理图
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