pecvd设备清洗怎么结局温度异常

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按字母分类 :一种管式PECVD温度控制系统专利登记公告 --凯迈乐软件著作权登记网
一种管式PECVD温度控制系统专利登记公告
一种管式PECVD温度控制系统专利登记公告
专利名称:一种管式PECVD温度控制系统摘要:一种管式PECVD温度控制系统,它包括主控制器、温度控制器、可控硅触发板、可控硅、变压器、多对热电偶,所述的热电偶的信号输出端与温度控制仪的信号输入端相连,温度控制仪的控制信号输出端与可控硅触发板的控制信号输入端相连,可控硅触发板的输出端与可控硅的控制信号输入端相连,可控硅的输出端通过变压器与炉管内的加热电阻丝相连接,主控制器与温度控制仪相连。本实用新型可以解决传统控制温度追求整个过程中温度的平衡,由于炉体本身特性及开关炉门前后环境的差异,造成开始温度升温慢,而后超温大的现象。本实用新型忽略辅助工艺时的温度,主要控制镀膜过程中的温度,使其满足工艺要求。专利类型:实用新型专利专利号:CN.0专利申请(专利权)人:南京科达新控仪表有限公司专利发明(设计)人:李亮主权项:一种管式PECVD温度控制系统,所述的管式PECVD包括:加热电阻丝(7)和炉管(8),加热电阻丝(7)安装在炉管(8)内,其特征在于所述的温度控制系统包括:主控制器(1)、温度控制器(2)、可控硅触发板(3)、可控硅(4)、变压器(5)和多对热电偶(6),所述的每对热电偶(6)分为内热电偶和外热电偶,外热电偶安装在加热电阻丝(7)中间,内热电偶安装在炉管(8)内壁上,热电偶(6)的信号输出端与温度控制仪(2)的信号输入端相连,温度控制仪(2)的控制信号输出端与可控硅触发板(3)的控制信号输入端相连,可控专利地区:江苏
关于上述专利公告申明 : && 上述专利公告转载自国家知识产权局网站专利公告栏目,不代表该专利由我公司代理取得,上述专利权利属于专利权人,未经(专利权人)许可,擅自商用是侵权行为。如您希望使用该专利,请搜索专利权人联系方式,获得专利权人的授权许可。

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