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可以查查不做等离子也是一样吗重新来一遍抽气过程真空度怎样?我觉得应该至少是从你说的这次等离子后有地方漏气只能检漏,查找漏点;当然粗抽泵、分子泵等泵也可以能有问题,但几率相对较小
镀膜机里面不放产品的话,做硅靶的真空度和时间都挺正常的放了产品就卡死在硅靶这一步了
那就是产品材料放气很大,要想办法改进材料
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