洁净室旋转编码器的工作原理理是什么?如何分类?


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图27.4-2示出洁净室的构成从构成洁淨室整体的硬件来说,有以下几部分:

(1)洁净室围护结构 由土建材料现场构筑或工厂预制的构件构筑除了合理的平剖面规划布置外,為满足洁净要求的建筑构造节点的设计和制作也是重要的构成部分。

(2)空调净化系统 在空调装置的基础上强化空气过来设施(三级過滤),控制正压保证足够的风量。末级过滤器的性能对洁净室具有关键作用末端高效过滤器安装的密封性也不可能忽视。

(3)附属設备 为保证洁净室的使用要求应具有良好的人、物净化设施,如空气吹淋、传递窗、余压阀......等此外,用于监测洁净室洁净度级别的尘粒计数器等也是不可缺少的设备

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