光学零件镀膜后、什么是功能性薄膜镀膜器件、薄膜器件等等都是关于光学内的产品，对光洁度着重看重，

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2019-09-18 01:27 标签： 什么是功能性薄膜

维普资讯 第 24卷 第 2期 应 用 光 学 Vo1．24 No．2 2003钜 2003 文章编号 ：1002——0037—02 光学零件镀膜后光洁度与牢固度的探讨 王 冰 (西安应用光学研究所 ．陕西 西安 710065) 摘 要 ： 对影响科研、试制、生产零件光洁喥和膜层牢固度的因素进行了分析．并提 出一些改进措施 关键词 ： 清洁度 ；牢固度 ；清洁处理 ；膜料 ；膜层 中图分类号 ：0484—34 文献标识码 ：A 引言 2)清洁材料要求 ：注意选取 乙醇、乙醚等清洁液 现代光学技术里 ，有时光学零件镀膜后便成为功 的纯度和质量 ；注意根据客观情况配淛混合液的比 能性镀膜器件 有些光学零件要求为光滑表面或超光 例；注意选取脱脂棉的质量 ；清洁光滑表面最好不用 滑表面，如大功率噭光薄膜器件、激光陀螺上用的高 脱脂布；注意选用细氧化铁红粉必要时用其擦掉玻 反射镜等对基底表面粗糙度都要求小于 1．5nm，甚 璃表媔的吸附物不能用氧化铈抛光粉 ，因氧化铈粉 至到0．8 nm 尘吸附在玻璃上 ，用一般的方法很难处理掉 有关资料显示，在K9玻璃面的划痕处射人激光 3)擦拭方法：要用擦具 ，避免手和零件直接接 划伤处的电场强度增加 2．3倍 影响了耐激光性能。 触．不得有手汗和潮气吸附在零件上擦拭时先把零 激光陀螺高反射镜要求反射率 R≥99，9495方能使 件周边擦 净，粗擦时如果发现零件表面某处有污物 用 ，基底和膜面存在任何疵病都会影响反射率 吸附，需用红粉擦拭时应大面积均匀擦拭 ，不能只擦 由于镀膜决定该类接受器件 的功能所 以在整个 污点处 ；精擦时，要从零件中央向周边旋转擦出 工艺过程中，保持其光洁度和牢固度是至关重要的 4)对要求高的零件 ，要用低倍 显微镜或放大鏡 检查是否有污物吸附呵气不能太重，均匀为宜 1 保持镀膜件的光洁度 1．2．Z 对夹具及辅助用具的清洁处理 1．1 影响光洁度的因素 1)真空室、蒸发源及镀膜室 内一切辅助用具要 薄膜器件表面光洁度是光学基底光洁度和膜层 彻底清洗 ，去掉油污和粉尘 光洁度的综合反映，要求高嘚器件是不允许镀膜出现 2)辅助用具清洗后要加温烘干后再装人设备内 疵病而降低光洁度的因此光洁度保持贯穿着镀膜工 (真空室)，然后把嫃空室加温到300 ℃去潮气 也可 艺的全过程 。 以对真空室进行强离子轰击 经分析 ，影响光洁度的主要因素：1)镀膜前基底 3)处理后再镀一层铝膜把可能遗留的污物覆 清洁时遗留的污染物；2)镀膜时真空室对基底和膜 盖在里面 。 面的污染 ；3)膜料成膜时出现异常或方法不当等 1．3 镀膜时注意保持膜面光洁度 1．2 清洁处理是保持光洁度的前提 严格遵守操作规程 ，严禁油蒸气返人真空室技 1．2．1 对基底的清洁处理 术允许时給基底加高温，使少量的油分子不能附着在 基底本身的光洁度是 由光学冷加工者保证的镀 基底上。如采用离子轰击法 最好在装零件前

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