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因此需要对来料硅片进行检测该工序主要用来对硅片的一些技术参数进行在线测量,这些参数主要包括硅片表面不平整度、少子寿命、电阻率、P/N型和微裂纹等其中,光伏硅片检测仪对硅片表面不平整度进行检测,同时检测硅片的尺寸和对角线等外观参数;微裂纹检测模块用来检测硅片的内部微裂纹;另外还有两个检测模组其中一个在线模组主要硅片体电阻率和硅片类型,另一个模塊用于检测硅片的少子寿命该组设备分自动上下料、硅片传输、系统整合部分和四个检测模块。在进行少子寿命和电阻率检测之前需偠先对硅片的对角线、微裂纹进行检测,并自动剔除破损硅片硅片检测设备能够自动装片和卸片,并且能够将不合格品放到固定位置從而提高检测精度和效。
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