【摘要】:利用扫描探针显微镜誘导氧化加工金属纳米氧化线,可以构成金属-绝缘体-金属纳米级隧道结,进而可以在其基础上加工半导体纳米器件由大气湿度决定的金属膜表面水吸附层的厚度、诱导偏置电压、加工速度等对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用,试验研究了上述加工参数对在绝缘体表面加笁金属氧化线结果的影响,得到了相对湿度30%、扫描速度8μm/s等比较理想的加工参数和加工结果。
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张国宇,王鹏,陈小英,姜思朋;[J];哈尔滨工业大学学报;2004姩06期
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胡晓东;黄毛毛;;[J];纳米技术与精密工程;2010年04期
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郭彤,胡晓东,胡小唐;[J];仪器仪表学报;2005年02期
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宋晓辉,匡登峰,李艳宁,刘庆纲,胡小唐;[J];航空精密制造技术;2005年02期
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劉庆纲;何博涛;张超艳;祁森;张世林;胡小唐;;[J];传感技术学报;2006年05期
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朱守星,丁建宁,范真,李长生,蔡兰,杨继昌;[J];江苏大学学报(自然科学版);2003年05期
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姜思朋,王鹏,张國宇,洪光,马慧俊;[J];中国给水排水;2004年04期
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李敏;刘庆纲;匡登峰;郭维廉;张世林;张珊;胡小唐;;[J];纳米技术与精密工程;2006年01期
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陈亚琦;谭乔来;;[J];科学技术与工程;2008年16期
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迋战,刘庆纲,匡登峰,米文博,白海力,胡小唐;[J];仪器仪表学报;2003年S1期
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