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常压辉光放电及其在薄膜表面处理中的应用
辉​光​放​电​,​常​压
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<font color=# 等离子体电子学的学习方法1.1等离子体概述1.2等离子体的各种性质1.3等离子体的应用1.4本书的构成练习题2 等离子体中的微观运动2.1单个粒子的运动2.2粒子间的碰撞2.3弹性碰撞中的能量损失2.4原子的激发与电离2.5分子的激发与离解、电离练习题3 等离子体的宏观性质3.1分布函数与平均量3.2等离子体基本方程3.3等离子体的电中性3.4粒子流动与密度分布3.5等离子体鞘层3.6能量平衡与粒子数平衡练习题4 气体放电与等离子体的形成4.1气体的绝缘击穿DD汤生的实验和理论4.2放电起始电压DD帕邢定律4.3气体放电中的等离子体状态4.4汤生理论的局限性练习题5 等离子体的生成方法ⅠDD直流放电5.1各种放电方法与放电模式5.2辉光放电与低温等离子体5.3电弧放电与热等离子体5.4电晕放电与高气压低温等离子体5.5磁控管放电练习题6 等离子体的生成方法ⅡDD高频放电、微波放电6.1等离子体生成与天线耦合6.2平行板加RF电压DD电容耦合等离子体6.3线圈通RF电流DD感应耦合等离子体6.4等离子体中的波6.5强电波照射DD表面波等离子体6.6使用磁场中的波DDECR等离子体和螺旋波等离子体练习题7 等离子体在电子、环境工程中的应用7.1LSI制造工艺中的等离子体刻蚀法7.2非晶硅薄膜的等离子体CVD制备法7.3等离子体显示器件的工作原理7.4利用等离子体的环境改善技术练习题练习题解答参考文献附录篇外话“等离子体”名称的由来原子的内部状态和光谱标记朗缪尔探针流注的形成表面磁场对等离子体的约束作用朗道衰减与回旋衰减用强光生成等离子体
&&&&作者:(日)菅井秀郎 译者:张海波 张丹
12:00:32 杨非 为此商品评分:
导师指定用书,应该不错吧。 0/0 人认为此评论有用
这本书不是很好买
16:24:06 msz.101 为此商品评分:
这本书不是很好买,就在网上买了,就是一本教材,很薄的一本书,不是很贵,替我男友买的,我不是这个专业的,不太懂内容,应该还行吧 0/0 人认为此评论有用
19:46:13 charles 为此商品评分:
感觉本书比较适合于初学者 0/0 人认为此评论有用
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All Rights Reserved大气压下空气中气流对介质阻挡放电的影响--《大连理工大学》2008年硕士论文
大气压下空气中气流对介质阻挡放电的影响
【摘要】：
低温等离子体空间富集的离子、电子、激发态原子、分子及自由基都是极活泼的反应性物种,这些活性粒子更易于和所接触的材料表面发生反应,因此可用于对材料表面进行处理。目前,多数低温等离子体是在几百帕的低气压下通过气体放电产生的,但对于大规模工业生产,低气压等离子体存在投资高、应用复杂、难于连续生产等问题。因此,最适合用于工业生产的是大气压下空气中放电产生的等离子体。
由于介质阻挡放电(Dielectric Barrier Discharge:DBD)在一定条件下可转变为均匀的类辉光放电,因此已被经用于等离子体表面处理。但是在大气压下空气氛围中,上述的类辉光状态却很难获得,其放电大多由直径很小但电流密度很大的细丝组成,难以对材料表面进行均匀处理,甚至会造成介质或试品表面烧蚀或穿孔,因此在大气压下空气中获得分布均匀且强度适中的放电将有着重要的意义。本研究发现,高速气流的使用将有助于增强大气压下空气DBD运行的稳定性和均匀性。
本实验使用频率300 Hz—10 kHz,峰值电压40 kV的可调交流电源,采用平行板电极结构(单侧覆盖介质),并利用一个吹风机控制放电空间的气体流速,研究了高速气流对大气压下空气DBD形貌及强度的影响。文章首先介绍了在无气流影响条件下电压、频率、放电间隙等实验条件对运行的影响,实验发现:在无气流影响下,电压越高,则放电越强,流光通道也趋于固定;频率增大,放电强度也有所增强,且正半周期增加的幅度明显快于负半周期,流光通道更加稳定;放电间隙减小,击穿电压明显减小,且放电呈现出貌似均匀的大气压类辉光放电。
而后,本文详细讨论了气流对介质阻挡放电的影响,通过与上一组数据对比发现:加入高速气流后,放电斑图从丝状转变为带状,且带状的曲率值随着气流速度的加大而加大,放电强度随着气流速度的加大而减小。此外,放电形貌和强度的变化还受到放电频率、放电电压和放电间隙等因素的影响,本文重点讨论了放电频率的作用,研究发现:频率越高,放电强度越弱,以至于当放电频率接近于500 Hz时,放电强度随着气流速度增大而减小的趋势已经变得很不明显。为了验证以上结论,我们分别测量了放电频率在2 kHz,1 kHz,500 Hz时的等离子体发射光谱,结果表明:发光强度随着气流的加入而减小,且变化趋势明显;但是随着频率的减小,气流对发光强度的影响变小。以上趋势与电流强度的变化相符合。本文还发现:当固定气流速度时,带状斑图的曲率并不随电压、频率和间隙的改变而发生变化。
【关键词】：
【学位授予单位】：大连理工大学【学位级别】：硕士【学位授予年份】：2008【分类号】：O461.2【目录】：
Abstract5-9
1 绪论9-26
1.1 等离子体概述9-13
1.1.1 什么是等离子体9
1.1.2 等离子体的性质与应用9-12
1.1.3 如何产生等离子体12-13
1.2 气体放电等离子体13-21
1.2.1 气体放电等离子概述13-15
1.2.2 汤生放电15-16
1.2.3 辉光放电16-18
1.2.4 电晕放电18-19
1.2.5 电弧放电19-21
1.2.6 火花放电21
1.3 介质阻挡放电概述21-23
1.3.1 介质阻挡放电的原理22-23
1.3.2 几种常见的介质阻挡放电装置23
1.3.3 介质阻挡放电的三种模式23
1.4 等离子体的温度23-26
1.4.1 激发温度24
1.4.2 振动温度24-25
1.4.3 转动温度25
1.4.4 平动温度25-26
2 放电装置与基本特征26-27
2.1 介质阻挡放电装置的设计26-27
3 无气流通入各种放电参数对介质阻挡放电的影响27-36
3.1 电压对介质阻挡放电的影响27-31
3.1.1 电压对放电斑图的影响27-29
3.1.2 电压对放电强度的影响29-31
3.2 频率对介质阻挡放电的影响31-34
3.2.1 频率对放电斑图的影响31-33
3.2.2 频率对放电强度的影响33-34
3.3 放电间隙对介质阻挡放电的影响34-36
4 气流影响下各种参数对介质阻挡放电的影响36-49
4.1 在不同频率下气流对介质阻挡放电的影响36-48
4.1.1 不同频率下的斑图分析36-39
4.1.2 不同频率下的伏安特性分析39-42
4.1.3 不同频率下的光谱分析42-47
4.1.4 不同频率下的放电温度分析47-48
4.2 在不同电压和不同放电间隙下气流对介质阻挡放电的影响48-49
5 展望49-50
参考文献51-54
攻读硕士学位期间发表学术论文情况54-55
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支持CAJ、PDF文件格式
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