请教pvd是什么课程?请向老师请教问题指教

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【请教】如何测试物理沉积(PVD)薄膜的膜厚?
【请教】如何测试物理沉积(PVD)薄膜的膜厚?【已搜无重复】
物理沉积薄膜为一薄合金层,如何测量沉积在衬底上的这层薄膜的厚度?
本人曾尝试用重量增量的方法来测,但效果不好,精度也不高。不知有哪位有经验虫虫能指教指教&&,最好能给点方法和具体仪器。兼顾可操作性和一定的精度&&是最好的。{板条状试样,薄膜的厚度精确到0.01微米比较合适。}
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