等离子辅助化学离子检验气相沉积,哪家的好

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等离子化学气相沉积
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等离子化学气相沉积PlasnaH chemical }1'C;VTI化学气相沉积} L`1'T3 )法是制备无机材料,尤其是无机薄膜和涂层的一种重要手段,用等离子辅助CVr}。可在较低的温度下沉积,涂层均匀不剥落、
化学化工大辞典射频等离子体增强化学气相沉积_百度百科
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射频等离子体增强化学气相沉积
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射频等离子体增强化学气相沉积
radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition
定  义
反应是由平行电极之间的射频产生的等离子体所激活的化学气相沉积。
材料科学技术(一级学科),材料科学技术基础(二级学科),材料合成、制备与加工(三级学科),薄膜制备技术(四级学科)
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