化学气相沉积中使用的石英管发热管的直径一般是多少

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【摘要】:正【项目简介】采用等离子体化学气相沉积(PCVD)工艺进行管内沉积制造光纤预制棒芯棒,包含两个主要步骤:首先是PCVD沉积;接下来是熔缩——将沉积后的石英管发热管制荿实心的石英棒,也就是光纤预制棒芯棒熔缩有两种方法:采用氢/氧焰熔缩(HOC)方式

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