主要通过擦拭布的材质、吸收率、洁净度和费用来评估无尘布在半导体行业的洁净室中,对无尘擦拭布的尘粒、离子、ESD等有很高的要求专业的无尘布需进行严格的测試以达到性能要求和污染控制标准,一般无尘布需进行这些测试:
一、抗磨损性测试:测试无尘布单位面积的重量一般要求在150-300克/平米
二、吸液量和吸液速度测试:吸液量一般不小于400克/平米,吸液速度一般不大于1秒
三、IC测试:定性定量地测量无机阴阳离子含量
四、NVR测试:测試单位面积上的不挥发性残留物
五、LPC测试:可是无尘布上的液态尘粒数
六、FTIR测试:傅立叶变化红外线光谱测试
七、GC测试:分析无尘布上有機污染物种类和含量
无尘布质量、使用效果如何检测
无尘布如何检测?我们在购买、制作无尘布时都会对无尘布的质量、使用效果是否明显等做一系列的检测,而我们却不一定会以及了解无尘布的检测方法那么在此就与大家来大致的了解下无尘布检测的一些方法:
用戶主要通过擦拭布的材质、吸收率、洁净度和费用来评估无尘布。在半导体行业的洁净室中对无尘擦拭布尘粒、离子、ESD等有很高的要求IEST-RP-CC004.3提供了一些评估无尘擦拭布的方法。
无尘布的边缘是由先进的切边机封边擦拭后不会留下微粒和线头,除污能力强可采用两边熔边封邊,另两边热封边的方法或四边熔边封边,能提供更好的封边保护
超音波封边:通过超声波振动部组(振子)所产生的振动(让电能轉换成机械能),经过HORN(焊头)传递热量再通过刀具挤压断面料,这种封边是目前无尘布切割方式中较好的一种封边效果好且边不会硬,但是此种切割方式成本过高市场占有率为15%左右。
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